Vafer megasonic divu - abpusējs suku un tīrīšanas spin {- Žāvētājs (sic tīrītājs ar megasonic suku spining -} žāvēšana) sastāv no vienas - stacijas ielādēšanas ierīces, wafer manipulatora ierīces (ar flipatony), rotējošu suku ierīci, vientuļš {{4}. FFU attīrīšanas vienība, elektriskās vadības sistēma, cauruļvadu sistēma un pneimatiskā sistēma.
Produkta parametri
1.Produkcijas plūsma:
Load → Location → Rotation, brushing, cleaning, two-fluid spraying (Si side) → Turn over 180℃→ Rotation, brushing, cleaning, megasonic spraying (C side) → Rotation, spin-drying → Unload
2.Major materiāli:
Metāla rāmis
PP baltā dēlis
3. Transportēšana:
Vaferus transportē ar tīru robotu roku.
Produkta funkcijas un lietojumprogrammas
Noņem atlikušās daļiņas no abām vafeles virsmām:
a. Particle size 0.3~0.5 µm: removal rate >90% vai<200 particles;
b. Particle size 0.5~1 µm: removal rate >95% vai<10 particles.
Piezīme: pārbaudes mašīna ir saderīga ar Candela vai SICA.
Produkta informācija
Veļas kameras ietilpība:
1 vafele
Tipisks ražošanas partijas laiks:
apm.
Standarta izmēri:
6 collas (φ150 mm) un 8 collas (φ200 mm)
Non - standarta izmēri:
φ150 ~ 153 mm un φ200 ~ 203mm
Lietojumprogrammu scenāriji
◇ 2023. gada oktobrī tika pasūtīts sic tīrītājs ar megasonic suku spin {- žāvēšanu un sāka darboties kā demonstrācijas vienība klienta vietā Wuxi Hy Solar.
Populāri tagi: Sic tīrītājs ar megasonic suku spin - žāvēšanu, porcelāna sic tīrītājs ar megasonic suku spin - žāvēšanas ražotāji
